គម្រោង Chip MBE បានបញ្ចប់ក្នុងឆ្នាំកន្លងមក

បច្ចេកវិទ្យា

Molecular Beam epitaxy, ឬ MBE, គឺជាបច្ចេកទេសថ្មីមួយសម្រាប់ការរីកលូតលាស់ខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់។នៅក្នុងលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះខ្ពស់ខ្លាំង ដោយចង្រ្កានកំដៅត្រូវបានបំពាក់ដោយសមាសធាតុដែលត្រូវការគ្រប់ប្រភេទ និងបង្កើតចំហាយទឹក តាមរយៈរន្ធដែលបង្កើតឡើងបន្ទាប់ពីការបុកធ្នឹមអាតូមិក ឬធ្នឹមម៉ូលេគុល ការចាក់ដោយផ្ទាល់ទៅសីតុណ្ហភាពសមស្របនៃស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ គ្រប់គ្រងធ្នឹមម៉ូលេគុលទៅ ការស្កេនស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងពេលតែមួយ វាអាចធ្វើឱ្យម៉ូលេគុល ឬអាតូមនៅក្នុងស្រទាប់តម្រឹមគ្រីស្តាល់ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម "ការលូតលាស់"។

សម្រាប់ប្រតិបត្តិការធម្មតារបស់ឧបករណ៍ MBE ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ សម្ពាធទាប និងអាសូតរាវដែលស្អាតខ្លាំងគឺត្រូវបានទាមទារឱ្យត្រូវបានដឹកជញ្ជូនជាបន្តបន្ទាប់ និងស្ថិរភាពទៅកាន់បន្ទប់ត្រជាក់នៃឧបករណ៍។ជាទូទៅ ធុងដែលផ្តល់អាសូតរាវមានសម្ពាធទិន្នផលរវាង 0.3MPa និង 0.8MPa ។អាសូតរាវនៅ -196 ℃ ងាយរលាយទៅជាអាសូតកំឡុងពេលដឹកជញ្ជូនតាមបំពង់។នៅពេលដែលអាសូតរាវដែលមានសមាមាត្រឧស្ម័ន-រាវប្រហែល 1:700 ត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបំពង់បង្ហូរប្រេង វានឹងកាន់កាប់ទំហំលំហូរអាសូតរាវយ៉ាងច្រើន ហើយកាត់បន្ថយលំហូរធម្មតានៅចុងបញ្ចប់នៃបំពង់បង្ហូរអាសូតរាវ។លើសពីនេះទៀតនៅក្នុងធុងផ្ទុកអាសូតរាវទំនងជាមានកំទេចកំទីដែលមិនត្រូវបានសម្អាត។នៅក្នុងបំពង់បង្ហូរអាសូតរាវ អត្ថិភាពនៃខ្យល់សើមក៏នឹងនាំទៅដល់ការបង្កើតដុំទឹកកកផងដែរ។ប្រសិនបើសារធាតុមិនបរិសុទ្ធទាំងនេះត្រូវបានបញ្ចេញទៅក្នុងឧបករណ៍នោះ វានឹងបណ្តាលឱ្យខូចខាតឧបករណ៍ដែលមិនអាចទាយទុកជាមុនបាន។

ដូច្នេះអាសូតរាវនៅក្នុងធុងផ្ទុកខាងក្រៅត្រូវបានដឹកជញ្ជូនទៅឧបករណ៍ MBE នៅក្នុងសិក្ខាសាលាគ្មានធូលី ប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ស្ថេរភាព និងស្អាត ហើយសម្ពាធទាប គ្មានអាសូត គ្មានភាពកខ្វក់ គ្មានការរំខាន 24 ម៉ោង ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងការដឹកជញ្ជូនបែបនេះគឺ ផលិតផលមានគុណភាព។

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

ឧបករណ៍ MBE ដែលត្រូវគ្នា។

ចាប់តាំងពីឆ្នាំ 2005 មក HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) បាននិងកំពុងបង្កើនប្រសិទ្ធភាព និងកែលម្អប្រព័ន្ធនេះ និងសហការជាមួយក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ MBE អន្តរជាតិ។ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ MBE រួមទាំង DCA, REBER មានទំនាក់ទំនងសហប្រតិបត្តិការជាមួយក្រុមហ៊ុនរបស់យើង។ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ MBE រួមទាំង DCA និង REBER បានសហការក្នុងគម្រោងមួយចំនួនធំ។

Riber SA គឺជាអ្នកផ្តល់សេវានាំមុខគេលើពិភពលោកនៃផលិតផល epitaxy នៃធ្នឹមម៉ូលេគុល (MBE) និងសេវាកម្មពាក់ព័ន្ធសម្រាប់ការស្រាវជ្រាវសមាសធាតុ semiconductor និងកម្មវិធីឧស្សាហកម្ម។ឧបករណ៍ Riber MBE អាចដាក់ស្រទាប់ស្តើងនៃសម្ភារៈនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដោយមានការគ្រប់គ្រងខ្ពស់។ឧបករណ៍បូមធូលីរបស់ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ត្រូវបានបំពាក់ដោយ Riber SA ឧបករណ៍ធំបំផុតគឺ Riber 6000 និងតូចបំផុតគឺ Compact 21។ ​​វាស្ថិតក្នុងស្ថានភាពល្អ និងត្រូវបានទទួលស្គាល់ដោយអតិថិជន។

DCA គឺជា MBE អុកស៊ីដនាំមុខគេរបស់ពិភពលោក។ចាប់តាំងពីឆ្នាំ 1993 មក ការអភិវឌ្ឍន៍ជាប្រព័ន្ធនៃបច្ចេកទេសអុកស៊ីតកម្ម កំដៅស្រទាប់ខាងក្រោមប្រឆាំងអុកស៊ីតកម្ម និងប្រភពប្រឆាំងអុកស៊ីតកម្មត្រូវបានអនុវត្ត។សម្រាប់ហេតុផលនេះ មន្ទីរពិសោធន៍ឈានមុខគេជាច្រើនបានជ្រើសរើសបច្ចេកវិទ្យាអុកស៊ីដ DCA ។ប្រព័ន្ធ MBE សមាសធាតុ semiconductor ត្រូវបានប្រើប្រាស់នៅជុំវិញពិភពលោក។ប្រព័ន្ធចរាចរអាសូតរាវ VJ នៃ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) និងឧបករណ៍ MBE នៃម៉ូដែលជាច្រើននៃ DCA មានបទពិសោធន៍ដែលត្រូវគ្នានៅក្នុងគម្រោងជាច្រើន ដូចជាម៉ូដែល P600, R450, SGC800 ជាដើម។

tcm (2)

តារាងការអនុវត្ត

វិទ្យាស្ថានរូបវិទ្យាបច្ចេកទេសសៀងហៃ បណ្ឌិតសភាវិទ្យាសាស្ត្រចិន
វិទ្យាស្ថានបច្ចេកវិទ្យាអេឡិចត្រូនិកចិនទី 11
វិទ្យាស្ថាន Semiconductors បណ្ឌិតសភាវិទ្យាសាស្ត្រចិន
ក្រុមហ៊ុន Huawei
អាលីបាបា DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
ក្រុមហ៊ុន Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ២៦ ឧសភា ២០២១