Molecular Beam Epitaxy និងប្រព័ន្ធឈាមរត់អាសូតរាវនៅក្នុង Semiconductor និង Chip Industry

សង្ខេបអំពី ធ្នឹមម៉ូលេគុល Epitaxy (MBE)

បច្ចេកវិទ្យានៃ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ត្រូវបានបង្កើតឡើងក្នុងទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1950 ដើម្បីរៀបចំសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើង semiconductor ដោយប្រើបច្ចេកវិទ្យា vacuum evaporation technology។ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍នៃបច្ចេកវិទ្យាបូមធូលីជ្រុល ការអនុវត្តបច្ចេកវិទ្យាត្រូវបានពង្រីកទៅផ្នែកវិទ្យាសាស្ត្រ semiconductor ។

ការលើកទឹកចិត្តនៃការស្រាវជ្រាវសម្ភារៈ semiconductor គឺតម្រូវការសម្រាប់ឧបករណ៍ថ្មី ដែលអាចធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវដំណើរការនៃប្រព័ន្ធ។ម្យ៉ាងវិញទៀត បច្ចេកវិទ្យាសម្ភារៈថ្មីអាចផលិតឧបករណ៍ថ្មី និងបច្ចេកវិទ្យាថ្មី។Molecular Beam epitaxy (MBE) គឺជាបច្ចេកវិទ្យាបូមធូលីខ្ពស់សម្រាប់ការលូតលាស់នៃស្រទាប់ epitaxial (ជាធម្មតា semiconductor) ។វាប្រើធ្នឹមកំដៅនៃអាតូមប្រភព ឬម៉ូលេគុលដែលប៉ះពាល់ដល់ស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ។លក្ខណៈនៃការបូមធូលីខ្ពស់ជ្រុលនៃដំណើរការអនុញ្ញាតឱ្យលោហៈធាតុនៅក្នុងកន្លែង និងការរីកលូតលាស់នៃសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់នៅលើផ្ទៃ semiconductor ដែលទើបនឹងលូតលាស់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានចំណុចប្រទាក់គ្មានការបំពុល។

ព័ត៌មាន bg (4)
ព័ត៌មាន bg (3)

បច្ចេកវិទ្យា MBE

អេពីតាស៊ីនៃធ្នឹមម៉ូលេគុលត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងកន្លែងទំនេរខ្ពស់ ឬជ្រុលខ្ពស់ (1 x 10-8ប៉ា) បរិស្ថាន។ទិដ្ឋភាពដ៏សំខាន់បំផុតនៃ epitaxy នៃធ្នឹមម៉ូលេគុលគឺអត្រានៃការដាក់ស្រទាប់ទាបរបស់វា ដែលជាធម្មតាអនុញ្ញាតឱ្យខ្សែភាពយន្តនេះលូតលាស់ epitaxial ក្នុងអត្រាតិចជាង 3000 nm ក្នុងមួយម៉ោង។អត្រានៃការបន្ទោរបង់ទាបបែបនេះទាមទារឱ្យមានការខ្វះចន្លោះខ្ពស់គ្រប់គ្រាន់ដើម្បីសម្រេចបាននូវកម្រិតនៃភាពស្អាតដូចវិធីសាស្ត្រដាក់ប្រាក់ផ្សេងទៀត។

ដើម្បីបំពេញនូវម៉ាស៊ីនបូមធូលីខ្ពស់ជ្រុលដែលបានពិពណ៌នាខាងលើ ឧបករណ៍ MBE (កោសិកា Knudsen) មានស្រទាប់ត្រជាក់ ហើយបរិយាកាសទំនេរខ្ពស់នៃបន្ទប់លូតលាស់ត្រូវតែរក្សាដោយប្រើប្រព័ន្ធចរាចរអាសូតរាវ។អាសូតរាវធ្វើឱ្យសីតុណ្ហភាពខាងក្នុងរបស់ឧបករណ៍ត្រជាក់ដល់ 77 Kelvin (−196 °C) ។បរិយាកាស​សីតុណ្ហភាព​ទាប​អាច​កាត់​បន្ថយ​មាតិកា​នៃ​ភាព​មិន​បរិសុទ្ធ​នៅ​ក្នុង​កន្លែង​ទំនេរ​បន្ថែម​ទៀត និង​ផ្តល់​លក្ខខណ្ឌ​ល្អ​ប្រសើរ​សម្រាប់​ការ​ដាក់​ស្រទាប់​នៃ​ខ្សែភាពយន្ត​ស្តើង។ដូច្នេះ ប្រព័ន្ធឈាមរត់ត្រជាក់អាសូតរាវពិសេសគឺត្រូវបានទាមទារសម្រាប់ឧបករណ៍ MBE ដើម្បីផ្តល់នូវការផ្គត់ផ្គង់អាសូតរាវជាបន្ត និងស្ថិរភាពនៃ -196 °C ។

ប្រព័ន្ធឈាមរត់ត្រជាក់អាសូតរាវ

ប្រព័ន្ធ​លំហូរ​ទឹក​ត្រជាក់​អាសូត​រាវ​ដែល​មាន​ជា​ចម្បង​រួម​មាន

●ធុង cryogenic

● បំពង់បូមធូលីមេ និងសាខា/បំពង់បូមធូលី

● ឧបករណ៍បំបែកដំណាក់កាលពិសេសរបស់ MBE និងបំពង់ផ្សែងដែលមានអាវក្រៅ

● សន្ទះបិទបើកផ្សេងៗ

● របាំងឧស្ម័នរាវ

● តម្រងអាវក្រៅ

● ប្រព័ន្ធបូមធូលីថាមវន្ត

● Precooling and cleaning ប្រព័ន្ធកំដៅឡើងវិញ

ក្រុមហ៊ុន HL Cryogenic Equipment Equipment បានកត់សម្គាល់ពីតម្រូវការនៃប្រព័ន្ធត្រជាក់អាសូតរាវ MBE ដែលរៀបចំឆ្អឹងខ្នងបច្ចេកទេសដើម្បីបង្កើតប្រព័ន្ធ cooing អាសូតរាវពិសេស MBE ដោយជោគជ័យសម្រាប់បច្ចេកវិទ្យា MBE និងសំណុំពេញលេញនៃអ៊ីសូឡង់សុញ្ញកាស។edប្រព័ន្ធបំពង់ ដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់នៅក្នុងសហគ្រាស សាកលវិទ្យាល័យ និងវិទ្យាស្ថានស្រាវជ្រាវជាច្រើន។

ព័ត៌មាន bg (1)
ព័ត៌មាន bg (2)

ឧបករណ៍ HL Cryogenic

HL Cryogenic Equipment ដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងក្នុងឆ្នាំ 1992 គឺជាម៉ាកដែលមានទំនាក់ទំនងជាមួយក្រុមហ៊ុន Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company នៅក្នុងប្រទេសចិន។HL Cryogenic Equipment ប្តេជ្ញាចិត្តក្នុងការរចនា និងផលិតប្រព័ន្ធបំពង់បង្ហូរឧស្ម័ន Cryogenic ដែលមានអ៊ីសូឡង់ខ្ពស់ និងឧបករណ៍ជំនួយដែលពាក់ព័ន្ធ។

សម្រាប់ព័ត៌មានបន្ថែម សូមចូលទៅកាន់គេហទំព័រផ្លូវការwww.hlcryo.comឬផ្ញើអ៊ីមែលទៅinfo@cdholy.com.


ពេលវេលាផ្សាយ៖ ឧសភា-០៦-២០២១